三種常見高真空泵的對比
發布時間：2019-07-11
| 泵的種類 | 低溫泵 | 擴散泵 | 渦輪分子泵 |
| 工作方式 |
將氣體微粒凍結到一塊“多孔性材料”上， 從而捕獲氣體微粒 |
用快速流動的油捕獲氣體微粒，并 將它們導出真空室 |
用高速旋轉的葉片產生強力氣流，從 而將氣體微粒導出腔室 |
| 應用 |
尤其適合于半導體及平面顯示器的應用 僅用于高級太陽能電池工藝 |
適合于大多數應用，但半導體除外 建議不要用于反應式鍍膜 |
適合于大多數應用 |
| 優點 |
非常適合于移動速度快的小原子，例如： 氦氣、氫氣和水蒸氣 多種安裝方式，允許任何方向 |
價格低廉 可靠度高 適用于較大的空間 |
良好的抽氣特性 無需維護 多種安裝方式，允許任何方向 無污染源 |
| 缺點 |
需要再生 抽氣速度不穩定 氣流較大時效果不理想 |
可能造成污染（油氣） 只能直立安裝 建議不要用于活性氣體，存在爆炸危險 |
高壓（排氣）可能造成損壞 |
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